MEMS微梁粘着动力分析
田文超(1),贾建援(1),陈光焱(2)
(1 西安电子科技大学,710071,西安) (2 西南电子工程研究所,621000,绵阳)

摘要：针对严重影响MEMS性能和可靠性的微梁粘着问题，根据W-S微观连续介质理论，建立了粘着力数学模型；针对粘着力对微梁刚度的强非线性影响，利用单元离散法，通过对粘着力时空变量相分离，对500μm×1μm×0.1μm表面镀金的微悬臂梁粘着进行了动力仿真，发现了“跳跃粘着”现象，从而为微梁的系统研究提供理论基础。
关键词:粘着力；MEMS；W-S微观连续介质理论；非线性
中图分类号：TH724    文献标识码：A