飞秒激光辐射纳米薄膜脱附的能量输运机理研究
林晓辉，池寅生，庄苹，陈云飞
(东南大学，南京，210096)

摘要：从微观能量传输角度，对飞秒脉冲激光的辐射传热及其产生的金属薄膜吸附层分子脱附过程的能量输运机理进行了研究。以非平衡态传热和随机过程理论为基础，建立了描述吸附分子脱附过程的数学模型；并分别对单脉冲与双脉冲飞秒激光辐射下，金属Ru基体表面层的电子和声子的温度分布、吸附层分子CO的脱附概率分布进行了数值模拟。其结果与实验规律相符，为飞秒脉冲激光应用于微机电系统中杂质脱附提供了重要信息。
关键词:飞秒脉冲激光；非平衡态传热；脱附；随机过程；脱附概率
中图分类号：O552    文献标识码：A