静电力作用下的微梁失稳临界电压分析
贾建援，王洪喜，樊康旗
(西安电子科技大学，西安，710071)

摘要：针对微机械器件中普遍使用的微梁在静电力作用下的变形、吸附、电压与间距等设计问题，以平行板电容器为原型，利用弹性力学中的板梁静力学方程和静电场分布的拉普拉斯方程建立了微悬臂梁的机电耦合模型。将不均匀分布的静电力载荷等效离散为一组集中载荷，对小变形梁应用叠加法求解耦合模型控制方程,得到微梁失去稳定平衡状态的临界电压和梁的挠曲线。结果表明，电压增高，梁的挠度随之增大，达到临界电压时，梁末端的挠度与变形前的间隙之比为0.42～0.44。
关键词:微梁；微结构；微机电系统
中图分类号：O339；O444      文献标识码：A