屈曲型数字微镜结构的机电动力学分析
贾建援，范国滨，陈贵敏
(西安电子科技大学，西安，710071)

摘要：设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置，针对该装置建立机电动力学模型，应用龙格-库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数。通过对该模型的完整机电动力学微分方程数值求解所作的运动仿真，得到了微镜基板的连续角位移曲线，表明该装置具有良好的光束稳定特性。
关键词:压杆屈曲；微结构；机电动力学；数字微镜装置
中图分类号：TH744.34    文献标识码：A